關(guān)于我們
書單推薦
新書推薦

半導體制造技術(shù)導論

半導體制造技術(shù)導論

定  價:59 元

叢書名:國外電子與通信教材系列

        

  • 作者:(美),蕭宏 著 楊銀堂 ,段寶興 譯
  • 出版時間:2013/1/1
  • ISBN:9787121188503
  • 出 版 社:電子工業(yè)出版社
  • 中圖法分類:TN305 
  • 頁碼:479
  • 紙張:膠版紙
  • 版次:2
  • 開本:16開
9
7
1
8
8
7
8
1
5
2
0
1
3

讀者對象:可作為高等院校微電子技術(shù)專業(yè)的教材, 也可作為從事半導體制造與研究人員的參考書及公司培訓員工的標準教材

  《半導體制造技術(shù)導論(第2版)》共包括15章,第1章概述了半導體制造工藝;第2章介紹了基本的半導體工藝技術(shù);第3章介紹了半導體器件、集成電路芯片,以及早期的制造工藝技術(shù);第4章描述了晶體結(jié)構(gòu)、單晶硅晶圓生長,以及硅外延技術(shù);第5章討論了半導體工藝中的加熱過程;第6章詳細介紹了光學光刻工藝;第7章討論了半導體制造過程中使用的等離子體理論;第8章討論了離子注入工藝;第9章詳細介紹了刻蝕工藝;第10章介紹了基本的化學氣相沉積(CVD)和電介質(zhì)薄膜沉積工藝,以及多孔低k電介質(zhì)沉積、氣隙的應用、原子層沉積(ALD)工藝過程;第11章介紹了金屬化工藝;第12章討論了化學機械研磨(CMP)工藝;第13章介紹了工藝整合;第14章介紹了先進的CMOS、DRAM和NAND閃存工藝流程;第15章總結(jié)了本書和半導體工業(yè)未來的發(fā)展。
 你還可能感興趣
 我要評論
您的姓名   驗證碼: 圖片看不清?點擊重新得到驗證碼
留言內(nèi)容