本書從電力電子到功率集成電路(PIC)、智能功率技術、器件等方面給電源管理和半導體產(chǎn)業(yè)提供了一個完整的描述。本書不僅介紹了集成功率半導體器件,如橫向雙擴散金屬氧化物半導體場效應晶體管(LDMOSFET)、橫向絕緣柵雙極型晶體管(LIGBT)和超結LDMOSFET的內(nèi)部物理現(xiàn)象,還對電源管理系統(tǒng)進行了一個簡單的介紹。本書運用計算機輔助設計技術(TCAD)仿真實例講解集成功率半導體器件的設計,代替抽象的理論處理和令人生畏的方程,并且還探討了下一代功率器件,如氮化鎵高電子遷移率功率晶體管(GaN功率HEMT)。本書內(nèi)容有助于填補功率器件工程和電源管理系統(tǒng)之間的空白。書中包括智能PIC的一個典型的工藝流程以及很難在其他同類書中找到的技術開發(fā)組織圖,通過對本書的閱讀,可以使學生和年輕的工程師在功率半導體器件領域領先一步。
從20世紀40年代末晶體管的發(fā)明開始,晶體管主要沿著兩個方向,即器件的小型化以及性能改進發(fā)展。性能改進的關鍵參數(shù)之一是晶體管的額定功率,它的發(fā)展導致功率半導體領域的產(chǎn)生。因為所有的電子器件都需要一個合適工作的電源和電源管理電路,功率半導體領域是過去幾十年晶體管發(fā)展的一個重要領域。
近年來,器件小型化使得最小特征尺寸接近納米級,而目前的超大規(guī)模集成電路(ULSI)技術能夠把數(shù)十億個晶體管集成在一個芯片上,這在芯片供電時會產(chǎn)生嚴重的問題。此外,由于環(huán)境問題需要更高的功率效率,也給系統(tǒng)的電源管理和電源電路帶來了沉重的負擔。這些和其他相關問題推動了功率半導體器件與技術領域的持續(xù)研究。
功率半導體領域發(fā)展的重點是針對高額定功率的分立功率器件。典型結構是雙極型功率晶體管和晶閘管。由于這些器件緩慢的開關速度和較大的開關損耗,發(fā)明了快速開關器件,如垂直雙擴散MOS(VDMOS) 晶體管,而應對較小的功率損耗,發(fā)明了絕緣柵雙極型晶體管(IGBT)。隨著集成電路(IC)技術應用越來越普遍,推動了集成功率晶體管與控制IC的低成本、結構緊湊和高性能的應用。為了實現(xiàn)這一目標,開發(fā)了橫向雙擴散MOS(LDMOS) 晶體管和橫向絕緣柵雙極型晶體管(LIGBT)。這是功率IC (PIC) 技術發(fā)展的黃金時代,并開發(fā)出了不同的雙極CMOSDMOS(BCD)技術。
伴隨如今發(fā)達的ULSI和PIC技術,預計片上功率系統(tǒng)(PowerSOC)的發(fā)展對未來的消費和工業(yè)應用將是一個非常有前途的方向。當然,要實現(xiàn)這一目標,實現(xiàn)高性能單片無源元件的各種其他技術,也需要有效的無源元件和IC集成以及有效的功耗技術。
PIC技術的開發(fā),無論是高性能的橫向功率晶體管還是工藝技術都是必需的。對半導體器件和工藝技術的高效設計,在業(yè)界常用到計算機輔助設計技術(TCAD)工具。市面上已經(jīng)出版了一些關于功率器件設計和工藝開發(fā)的書籍,但沒有特別關注如何利用TCAD工具設計和開發(fā)功率器件和PIC的。本書目的是滿足這方面的需要,特別是剛剛進入功率半導體領域的工程師,對采用TCAD工具對器件和工藝進行設計和開發(fā)提供一個快速入門的途徑。
本書采用了自上而下的方法,引領新的工程師進入到該領域。它從基本的電力電子系統(tǒng)開始,同時介紹了功率IC,并在進入智能功率集成電路技術之前引導讀者探索半導體產(chǎn)業(yè),然后解釋基本工藝和器件模擬的TCAD建模,并討論了具體制造過程的精確和可靠模擬結果的模型校準,然后對如何利用TCAD工具進行功率IC工藝開發(fā)和功率器件設計進行了詳細介紹,這包括許多實際功率器件和工藝技術與工業(yè)設計有關的TCAD方法和過程的仿真實例。超過300張的圖示有效地說明了功率器件和設計的關鍵概念和技術。最后,簡要介紹了GaN功率器件的TCAD仿真,特別是對那些具有硅技術背景的,剛開始從事這一領域的讀者非常有幫助。
在本書的寫作過程中,作者得到了很多人的幫助和支持。要對他們每一個人慷慨的幫助和支持表示衷心的感謝。特別要感謝CrosslightSoftware的MichelLestrade,在審閱和校對工作中做出了重要貢獻;感謝不列顛哥倫比亞大學MaggieXia和Dr.YuanweiDong教授對第7章工藝仿真和其他章節(jié)的審閱;感謝浙江大學GangXie教授對第10章關于GaN器件仿真模擬的審閱;感謝MegaHertzPowerSystems公司首席執(zhí)行官RobertTaylor和GreeconTechnologies公司的RoumenPetkov博士對第1章的審閱和建議;感謝飛兆半導體公司(USA) GaryDolny博士和伊利諾理工大學的JohnShen教授對全書初步審閱和建議。
最后,特別感謝Taylor& Francis的NoraKonopka、MicheleSmith、KathrynEverett、IrisFahrer和TheresaDelforn專業(yè)和熱情的幫助。
譯者序
原書前言
作者簡介
第1章 電力電子,可以實現(xiàn)綠色的技術1
。.1 電力電子介紹1
。.2 電力電子的發(fā)展歷程3
1.3。模茫模米儞Q器4
1.4 線性穩(wěn)壓器4
。.5 開關電容DC/DC變換器(電荷泵) 5
。.6 開關模式DC/DC變換器6
1.7 線性穩(wěn)壓器、電荷泵和開關調(diào)節(jié)器的比較8
1.8 非隔離DC/DC開關變換器的拓撲結構8
。.8.1。拢酰悖胱儞Q器9
。.8.2。拢铮铮螅糇儞Q器11
。.8.3 Buck-boost變換器12
。.8.4。茫酰胱儞Q器14
1.8.5 非隔離式變換器額外的話題14
。.9 隔離的開關變換器拓撲結構16
。.9.1 反激式變換器16
。.9.2 正激式變換器17
。.9.3 全橋變換器18
。.9.4 半橋變換器19
1.9.5 推挽變換器20
。.9.6 隔離DC/DC變換器其他話題20
。.9.7 隔離DC/DC變換器拓撲結構的比較22
。.10。樱校桑茫烹娐贩抡妫玻
1.11 對于電池供電器件的電源管理系統(tǒng)23
。.12 小結24
第2章 功率變換器和電源管理芯片25
2.1 用于VLSI電源管理的動態(tài)電壓調(diào)節(jié)25
。.2 集成的DC/DC變換器27
。.2.1 分段的輸出級29
。.2.2 一個輔助級的瞬態(tài)抑制32
。.3 小結36
第3章 半導體產(chǎn)業(yè)和超摩爾定律37
3.1 半導體產(chǎn)業(yè)37
。.2 半導體產(chǎn)業(yè)的歷史38
3.2.1 一個簡要的時間表38
。.2.2 八叛逆38
。.2.3 半導體產(chǎn)業(yè)的歷史路線圖39
。.3 半導體產(chǎn)業(yè)的食物鏈金字塔40
3.3.1 第1層:晶圓和EDA工具41
。.3.2 第2層:器件工程42
。.3.3 第3層:IC設計42
。.3.4 第4層:制造、封裝和測試43
。.3.5 第5層:系統(tǒng)和軟件43
。.3.6 第6層:市場營銷44
。.4 半導體公司45
。.5 超摩爾定律46
第4章 智能功率IC技術49
。.1 智能功率IC技術基礎49
4.2 智能功率IC技術:歷史展望50
。.3 智能功率IC技術:產(chǎn)業(yè)展望52
4.3.1 智能功率IC技術的工程組52
。.3.2 智能功率IC技術開發(fā)流程55
。.3.3 計劃階段56
。.3.4 工藝集成和器件設計57
4.3.5 布圖、投片、制造和測試58
。.3.6 可靠性和標準59
4.3.7 目前智能功率技術的概述60
。.4 智能功率IC技術:技術展望61
。.4.1 智能功率技術中的器件62
。.4.2 智能功率IC技術的設計考慮62
4.4.3 隔離方法65
第5章。裕茫粒墓に嚪抡娼榻B67
5.1 概述67
。.2 網(wǎng)格設置和初始化67
。.3 離子注入69
5.3.1分析模型70
。.3.2 多層注入71
目 錄Ⅸ
。.3.3 MonteCarlo模擬71
。.4 淀積72
。.5 氧化73
。.5.1 干氧氧化73
5.5.2 濕氧氧化74
。.5.3 氧化模型74
。.6 刻蝕76
。.7 擴散77
。.7.1 擴散機制78
。.7.2 擴散模型79
5.8 分凝80
。.9 工藝模擬器模型的校準83
。.10。常 TCAD工藝仿真介紹84
。.11。牵校辗抡妫福
第6章。裕茫粒钠骷抡娼榻B87
6.1 概述87
。.2 器件仿真基礎87
6.2.1 漂移-擴散模型87
。.2.2 離散化88
。.2.3 Newton方法89
。.2.4 初始猜測和自適應偏置步長89
6.2.5 收斂問題90
。.2.6 邊界條件91
。.2.7 瞬態(tài)仿真93
6.2.8 網(wǎng)格問題93
。.3 物理模型93
。.3.1 載流子統(tǒng)計94
6.3.2 雜質(zhì)的不完全電離94
。.3.3 重摻雜效應94
。.3.4 SRH和Auger復合94
。.3.5 雪崩擊穿和碰撞電離95
。.3.6 載流子遷移率101
6.3.7 熱和自加熱106
。.3.8 帶隙變窄效應107
6.4。粒梅治觯保埃
6.4.1 引言107
。.4.2 基本的公式108
。.4.3 在TCAD中的AC分析110
Ⅹ 集成功率器件設計及TCAD仿真
。.5 在TCAD仿真中的陷阱模型111
。.5.1 陷阱電荷的狀態(tài)111
。.5.2 陷阱動力學112
6.6 量子隧穿115
。.6.1 功率器件中量子隧穿的重要性115
。.6.2 TCAD仿真的基本隧穿理論116
。.6.3 隧穿的非平衡Green函數(shù)的介紹118
6.7 器件仿真器模型的校準119
第7章 功率IC工藝流程的TCAD仿真120
。.1 概述120
7.2 一個模擬的功率IC工藝流程120
。.2.1 工藝流程步驟120
。.2.2 模擬的工藝流程的結構視圖121
7.3 智能功率IC工藝流程模擬122
。.3.1 P+襯底122
。.3.2 N型掩埋層123
。.3.3 外延層生長和深N連接125
。.3.4 高壓雙阱127
。.3.5。危蹋模停希拥模行腕w注入128
7.3.6 有源區(qū)面積/淺溝槽隔離(STI) 129
。.3.7 N阱和P阱134
。.3.8 低壓雙阱135
。.3.9 厚柵氧層和薄柵氧層136
7.3.10 多晶柵139
。.3.11 NLDD和PLDD 139
。.3.12 側墻141
。.3.13。危樱暮停校樱 142
。.3.14 后端工序144
第8章 集成功率半導體器件的TCAD仿真150
。.1。校谓Y二極管150
。.1.1。校谓Y基礎150
。.1.2 在平衡時的橫向PN結二極管151
。.1.3 正向?qū)ǎ▽☉B(tài)) 153
。.1.4 一個PN結二極管的反向偏置156
。.1.5 具有NBL的橫向PN結二極管156
8.1.6。校谓Y二極管的擊穿電壓增強158
。.1.7 反向恢復166
8.1.8。樱悖瑁铮簦簦耄䴓O管169
目 錄Ⅺ
。.1.9 Zener二極管170
。.1.10。校谓Y二極管的小信號模型173
8.2 雙極結型晶體管174
。.2.1。危校涡停拢剩缘幕竟ぷ髟恚保罚
8.2.2。危校涡停拢剩缘膿舸保罚
。.2.3 BJT的I-V曲線族182
。.2.4 Kirk效應182
。.2.5。拢剩詿崾Э睾投螕舸┑姆抡妫保福
8.2.6。拢剩缘男⌒盘柲P秃徒刂诡l率的仿真188
8.3。蹋模停希 191
8.3.1 擊穿電壓的提高191
。.3.2 LDMOS中的寄生NPNBJT 220
。.3.3。蹋模停希拥膶娮瑁玻玻
。.3.4。蹋模停希拥拈撝惦妷海玻玻
8.3.5。蹋模停希拥妮椪占庸淘O計227
8.3.6。蹋模停希拥模桑智族228
8.3.7。蹋模停希拥淖约訜幔玻常
。.3.8 LDMOS的寄生電容231
。.3.9。蹋模停希拥臇烹姾桑玻常
8.3.10。蹋模停希臃倾Q位感應開關(UIS) 235
。.3.11。蹋模停希拥暮啙嵞P停玻常
第9章 集成的功率半導體器件的3DTCAD模擬238
。.1。常钠骷牟季中玻常
。.2。蹋桑牵拢缘模常姆抡妫玻矗
9.2.1 關于LIGBT 241
。.2.2 分段陽極LIGBT 241
。.2.3 分段陽極LIGBT3D工藝仿真244
。.2.4 分段陽極LIGBT的3D器件仿真246
。.3 超結LDMOS 254
9.3.1 基本概念254
。.3.2 超結LDMOS的結構261
。.3.3 超結LDMOS的3D仿真261
9.3.4 超結LDMOS的3D器件仿真264
。.3.5 一個具有相同的N漂移區(qū)摻雜的標準LDMOS的3D仿真265
9.3.6 一個N漂移區(qū)摻雜降低的標準LDMOS的3D仿真265
。.3.7 超結LDMOS和標準LDMOS的比較266
。.4 超結功率FinFET 267
9.4.1 超結功率FinFET的工藝流程269
、 集成功率器件設計及TCAD仿真
。.4.2 超結功率FinFET的測量結果270
9.4.3 超結功率FinFET的3D仿真271
。.5 大的互連仿真273
。.5.1 大的互連的3D工藝仿真275
9.5.2 大的互連的3D器件仿真279
第10章。牵幔纹骷榻B281
10.1 化合物材料與硅281
。保.2 GaN器件的襯底材料282
。保.3 Ⅲ -氮族纖鋅礦結構的極化特性283
。保.3.1 微觀偶極子與極化矢量283
。保.3.2 晶體結構與極化284
。保.3.3 零凈極化的理想c0/a0比284
。保.4。粒欤牵幔危牵幔萎愘|(zhì)結287
。保.4.1 具有固定鋁摩爾分數(shù)的能帶圖288
。保.4.2 具有一個固定的AlGaN層厚度的能帶圖289
。保.4.3 具有摻雜的AlGaN或GaN層的AlGaN/GaN結構291
。保.4.4 具有金屬接觸的AlGaN/GaN結構292
10.5 在AlGaN/GaN結構中的陷阱293
。保.6 一個簡單的AlGaN/GaN HEMT 294
。保.6.1 器件結構294
。保.6.2。牵幔 HEMT的ID -VG曲線296
10.6.3 小結297
。保.7 GaN功率HEMT例子Ⅰ 298
。保.7.1 器件結構298
10.7.2。牵幔尾牧系呐鲎搽婋x系數(shù)300
。保.7.3 GaNHEMT器件的擊穿仿真300
。保.8 GaN功率HEMT范例Ⅱ 301
。保.9 GaN HEMT器件的柵極漏電流的仿真302
。保.9.1 器件結構302
10.9.2 模型和仿真設置303
。保.9.3 柵極泄漏電流仿真305
10.10 化合物半導體電力應用的市場前景306
附錄A 載流子統(tǒng)計308
附錄B 載流子統(tǒng)計309
附錄C 陷阱動力學和AC分析320