目錄
前言
第1章 緒論 1
1.1 光學自由曲面 1
1.1.1 光學自由曲面的概念及內(nèi)涵 1
1.1.2 光學自由曲面的應(yīng)用現(xiàn)狀 4
1.2 幾何像差與波像差 17
1.2.1 單色幾何像差 17
1.2.2 波像差 22
1.3 波面干涉測量 24
1.3.1 波面干涉測量基礎(chǔ) 24
1.3.2 零位測試 26
1.4 零位補償器 28
參考文獻 32
第2章CGH補償器設(shè)計 37
2.1 CGH補償?shù)幕�本原�?37
2.1.1 全息術(shù) 37
2.1.2 波面干涉測量中的計算全息 38
2.1.3 CGH補償器 41
2.2 CGH相位函數(shù)設(shè)計 45
2.2.1 主全息 45
2.2.2 干擾級次的衍射分析 50
2.2.3 輔助對準與標記全息 51
2.3 CGH補償?shù)耐队盎�變校�?53
2.3.1 補償檢驗中的投影畸變 53
2.3.2 投影畸變校正方法 55
2.4 CGH制造工藝 57
2.4.1 CGH制造工藝概述 57
2.4.2 CGH編碼方法 60
參考文獻 64
第3章 光學復雜曲面的CGH補償檢驗實例 67
3.1 回轉(zhuǎn)對稱非球面 67
3.2 離軸凸非球面 71
3.3 XY多項式自由曲面 73
3.4 共體多曲面的形位誤差同步檢驗 79
3.4.1 多面共體元件的CGH補償檢驗 79
3.4.2 寬光譜共軸相機反射鏡的CGH補償檢驗 81
3.5 CGH補償檢驗的誤差分析 86
3.5.1 CGH制造誤差的檢測 86
3.5.2 CGH補償檢驗誤差的對比驗證 90
參考文獻 91
第4章 大口徑柱面反射鏡的CGH補償拼接測量 93
4.1 光學柱面反射鏡應(yīng)用背景 93
4.2 柱面子孔徑的幾何像差理論 95
4.2.1 柱面子孔徑的幾何像差構(gòu)成 95
4.2.2 柱面子孔徑的失調(diào)像差 99
4.3 柱面反射鏡的CGH補償器設(shè)計 102
4.3.1 圓柱面的CGH補償器設(shè)計 102
4.3.2 非圓柱面的CGH補償器設(shè)計 107
4.3.3 非圓柱面的可重構(gòu)補償器設(shè)計 108
4.4 柱面子孔徑拼接算法 113
4.4.1 柱面子孔徑拼接算法原理 114
4.4.2 柱面子孔徑拼接算法仿真對比 120
4.5 大口徑柱面反射鏡的補償拼接測量實例 122
參考文獻 127
第5章 基于雙回轉(zhuǎn)CGH的可變補償拼接測量 130
5.1 大口徑凸非球面的離軸測量需求 130
5.2 非球面的離軸子孔徑像差 134
5.3 基于雙回轉(zhuǎn)CGH的可變補償器 135
5.3.1 雙回轉(zhuǎn)CGH的光學設(shè)計 135
5.3.2 雙回轉(zhuǎn)CGH的輔助圖樣設(shè)計 139
5.3.3 近零位補償器的面形適應(yīng)性 140
5.4 近零位子孔徑拼接算法 141
5.4.1 拼接模型與優(yōu)化算法 141
5.4.2 凸非球面近零位拼接算法的仿真驗證 143
5.5 可變補償拼接測量工作站樣機 144
5.5.1 近零位子孔徑的光學裝調(diào)公差 144
5.5.2 拼接測量工作站樣機的運動學建模 145
5.5.3 拼接測量工作站樣機的光機一體化設(shè)計 147
5.5.4 近零位補償條件下的子孔徑測量對準 150
5.6 大口徑凸非球面的可變補償拼接測量實例 151
5.6.1 凸非球面反射鏡樣件的背面透過補償檢驗 151
5.6.2 多模式誤差圖的配準 152
5.6.3 凸非球面反射鏡樣件的面形測量驗證 154
5.6.4 近零位子孔徑拼接的失調(diào)像差分離方法 157
參考文獻 160
第6章 基于空間光調(diào)制器的可編程CGH補償檢測 162
6.1 基于SLM的可編程CGH 162
6.1.1 基于干涉型計算全息編碼的SLM相位控制原理 162
6.1.2 使用SLM作為可編程CGH檢測球面基底自由曲面 167
6.1.3 使用SLM作為可編程CGH檢測平面基底自由曲面 173
6.2 基于SLM和高次非球面透鏡的折衍混合可變補償檢測 177
6.2.1 基于SLM和高次非球面透鏡的折衍混合可變補償檢測原理 177
6.2.2 檢測系統(tǒng)的誤差分析 181
6.2.3 大偏離量自由曲面檢測的實驗驗證 182
6.3 加工過程中動態(tài)演變局部大誤差的智能推理補償檢測 187
6.3.1 加工過程中動態(tài)演變局部大誤差的智能推理補償檢測原理 187
6.3.2 局部大誤差智能解析仿真 196
6.3.3 局部大誤差智能解析實驗驗證 198
參考文獻 202