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精密運(yùn)動系統(tǒng)迭代前饋控制方法及應(yīng)用 反饋控制方法受限于機(jī)械系統(tǒng)諧振頻率和伯德(Bode)積分定理,閉環(huán)帶寬不可能無限提高,控制精度有限,難以滿足現(xiàn)代精密運(yùn)動系統(tǒng)高產(chǎn)量、高品質(zhì)的性能需求。前饋控制在精密運(yùn)動平臺(如光刻機(jī)硅片臺、工業(yè)打印機(jī)等)加速運(yùn)動過程中,可以大幅減少由參考軌跡引起的誤差,縮短調(diào)整時間,從而增加系統(tǒng)產(chǎn)量;在勻速生產(chǎn)過程中,可以有效補(bǔ)償外部擾動引起的誤差,提高控制精度,保證產(chǎn)品品質(zhì)。本書針對精密運(yùn)動系統(tǒng)中存在的重復(fù)、非重復(fù)運(yùn)動過程,引入迭代學(xué)習(xí)思想,分別研究了非固定結(jié)構(gòu)、固定結(jié)構(gòu)前饋控制器的設(shè)計方法,對提高精密運(yùn)動系統(tǒng)的伺服性能有著重要意義。 本書可作為高等院校自動控制或機(jī)電類專業(yè)研究生的教材或參考書,也可供工程技術(shù)人員參考。
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