本書旨在向材料及微電子集成相關專業(yè)的高年級本科生、研究生及從事材料與器件集成行業(yè)的科研人員介紹柵介質材料制備與相關器件集成的專業(yè)技術。本書共10章，包括了集成電路的發(fā)展趨勢及后摩爾時代的器件挑戰(zhàn)，柵介質材料的基本概念及物理知識儲備，柵介質材料的基本制備技術及表征方法； 著重介紹了柵介質材料在不同器件中的集成應用，如高κ與金屬柵、場效應晶體管器件、薄膜晶體管器件、存儲器件及神經形態(tài)器件等。本書包含柵介質材料的基本制備技術，同時突出了柵介質材料在器件應用中的先進性和前沿性，反映了后摩爾時代器件集成的**研究進展，是理論與實踐應用的有機結合。