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半導(dǎo)體結(jié)構(gòu) 讀者對(duì)象:《半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)》適合于微電子科學(xué)與工程及電子科學(xué)與技術(shù)等涉及半導(dǎo)體技術(shù)的電子學(xué)專業(yè)及相關(guān)學(xué)科的學(xué)習(xí)者,主要作為學(xué)習(xí)半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域相關(guān)內(nèi)容的第一本專業(yè)課程學(xué)習(xí)資料。同時(shí)本書除作為專業(yè)課教材外,也適合對(duì)半導(dǎo)體技術(shù)有興趣并具有一定數(shù)學(xué)、物理、化學(xué)及幾何學(xué)知識(shí)儲(chǔ)備的讀者作為入門讀物。
《半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)》主要內(nèi)容總體可被劃分為兩個(gè)部分,分別是晶體的結(jié)構(gòu)理論和晶體的缺陷理論。第一部分主要圍繞理想晶體(完美晶體)的主要性質(zhì)與基本概念撰寫,加深讀者對(duì)晶體結(jié)構(gòu)和關(guān)鍵性質(zhì)的理解。第一部分?jǐn)M通過五個(gè)章節(jié)分別介紹晶體的基本概念、晶體結(jié)構(gòu)、對(duì)稱性、晶體結(jié)構(gòu)描述方法及典型半導(dǎo)體晶體的重要物理、化學(xué)特性和這些特性與晶體微觀、宏觀性質(zhì)間的聯(lián)系。第二部分則主要圍繞實(shí)際晶體中各種雜志與缺陷態(tài)對(duì)晶體性能的影響撰寫。第二部分?jǐn)M分為四章撰寫,第六至八章分別重點(diǎn)介紹晶體中三個(gè)維度的缺陷類型,包括點(diǎn)缺陷、線缺陷和面缺陷。最后,第九章介紹了多種晶體缺陷分析技術(shù),如X射線衍射法、透射電子顯微技術(shù)、離子微探針技術(shù)等。
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