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微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）設(shè)計(jì)和原型設(shè)計(jì)指南 
定 價(jià)：69 元 叢書名：高新科技譯叢
9 7 0 8 9 7 6 1 9 1 0 8 3
《微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)和原型設(shè)計(jì)指南》的目的是通過一個(gè)使用頂級(jí)計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)工具進(jìn)行布局布線和建模的MEMS設(shè)計(jì)體驗(yàn)指導(dǎo)學(xué)生們，以提供一個(gè)健壯的、標(biāo)準(zhǔn)多元晶圓制造工藝的設(shè)計(jì)。許多這樣的工藝都有成熟的設(shè)計(jì)規(guī)則可以分離設(shè)計(jì)和制造挑戰(zhàn)。如果遵循這些規(guī)則，學(xué)生們能夠獲得他們所設(shè)計(jì)的東西。然而標(biāo)準(zhǔn)工藝的使用對(duì)可以制造的設(shè)備具有一些局限性，因?yàn)閷訑?shù)和層厚都是通過標(biāo)準(zhǔn)流程進(jìn)行設(shè)置的，這種方式被成功地用于開發(fā)一些商業(yè)上成功的MEMS設(shè)備，這些設(shè)備在本書中也有描述。
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