 書單推薦 新書推薦 |
微機電系統(tǒng)（MEMS）設計和原型設計指南 
定 價：69 元 叢書名：高新科技譯叢
9 7 0 8 9 7 6 1 9 1 0 8 3
《微機電系統(tǒng)設計和原型設計指南》的目的是通過一個使用頂級計算機輔助設計工具進行布局布線和建模的MEMS設計體驗指導學生們，以提供一個健壯的、標準多元晶圓制造工藝的設計。許多這樣的工藝都有成熟的設計規(guī)則可以分離設計和制造挑戰(zhàn)。如果遵循這些規(guī)則，學生們能夠獲得他們所設計的東西。然而標準工藝的使用對可以制造的設備具有一些局限性，因為層數(shù)和層厚都是通過標準流程進行設置的，這種方式被成功地用于開發(fā)一些商業(yè)上成功的MEMS設備，這些設備在本書中也有描述。
你還可能感興趣
我要評論
|
