《微機電系統(tǒng)設計及應用探究》一書中講述的微機電系統(tǒng)涉及多學科交叉,具有能夠在狹小空間內(nèi)進行作業(yè)而又不擾亂工作環(huán)境的特點,有著廣泛的應用前景。本書結合當前微機電系統(tǒng)的科學研究,對微機電系統(tǒng)原理和設計、微細加工技術、相關的檢測技術以及微機電系統(tǒng)的應用等內(nèi)容進行了介紹,使讀者對微機電系統(tǒng)的設計與制造有一個比較完整的了解,為開展微機電系統(tǒng)的研究奠定必要的基礎。

相對于人們對涉及的非傳統(tǒng)物理的理解，MEMS技術發(fā)展得非�？臁Ｖ挥猩羁陶莆掌浠�本原理，才能促進MEMS技術的提高，才有可能進行微機電系統(tǒng)的設計和制造，并讓其在現(xiàn)有的和設想的各個領域廣泛應用。本書是MEMS手冊中的基礎部分，提供有關MEMS理論和技術基礎的文獻和參考。書中除了介紹MEMS在微小尺度方面的物理學、流體力學、力學、光學、電、潤滑，還包含了控制理論、分布式控制及軟計算的內(nèi)容。這些內(nèi)容涉及未來應用的各種重要基礎知識，將其應用于微傳感器和微執(zhí)行器能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)約能源的有效控制并提高人工裝置性能。