本書(shū)稿主要介紹集成電路的制造。集成電路制造是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中關(guān)鍵的一環(huán), 承上繼下, 起著極為重要的作用, 同時(shí)也面臨各種挑戰(zhàn)。本冊(cè)對(duì)集成電路制造產(chǎn)業(yè)鏈各個(gè)環(huán)節(jié)的工作內(nèi)容做了簡(jiǎn)明扼要的介紹, 由復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院的幾位教授共同編著而成, 包括了芯片介紹、芯片制造工藝整合制程、光刻工藝技術(shù)、材料刻蝕技術(shù)、薄膜制備技術(shù)、化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)、摻雜工藝技術(shù)和封裝工藝技術(shù)。一方面以青少年喜聞樂(lè)見(jiàn)的類比方式普及集成電路制造的基礎(chǔ)知識(shí), 另一方面引發(fā)他們未來(lái)從事集成電路制造設(shè)備研發(fā)的興趣。