本著作主要基于柔性鉸鏈設(shè)計(jì), 采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng) (PZT) 作為驅(qū)動(dòng)元件, 設(shè)計(jì)一種可微移動(dòng)的柔性機(jī)械手, 包括微夾持機(jī)構(gòu)和微納定位平臺(tái), 主要應(yīng)用于微納加工和生物微操作中。本著作共分為六章: 第一章主要是介紹了研究意義和現(xiàn)狀等。第二章提出了壓電驅(qū)動(dòng)柔性機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)過(guò)程, 包括新型二自由度微夾持器、新型壓電驅(qū)動(dòng)緊密型微夾持器、帶有位移放大器的二自由度微納定位平臺(tái)和三自由度平移納米微操作平臺(tái)。第三章重點(diǎn)對(duì)機(jī)構(gòu)進(jìn)行了建模和分析, 包括基于柔度矩陣和偽剛體模型方法, 得出機(jī)構(gòu)放大比和剛度模型。優(yōu)化算法對(duì)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)參數(shù)和性能進(jìn)行了參數(shù)優(yōu)化。第四章介紹了壓電驅(qū)動(dòng)柔性機(jī)構(gòu)遲滯建模與補(bǔ)償?shù)囊幌盗蟹椒�。第五章�?duì)柔性機(jī)構(gòu)非線性系統(tǒng)的進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究。展開(kāi)了一系列開(kāi)環(huán)和閉環(huán)跟蹤控制實(shí)驗(yàn), 以評(píng)價(jià)所研制系統(tǒng)的跟蹤性能和抓取目標(biāo)的能力。最后, 第六章總結(jié)了研究期間的成果, 并對(duì)今后的工作進(jìn)行了展望。