前言
第1章 微機(jī)電系統(tǒng)概述
1.1 引言
1.1.1 多年來(lái)的期盼
1.1..2 發(fā)生在20世紀(jì)90年代的故事
1.2 小機(jī)械，大機(jī)會(huì)
1.
2.1 三十年的積累
1.
2.2 
第一個(gè)豐收的季節(jié)
1.
2.3 微型科技發(fā)展的動(dòng)力
1.
2.4 小機(jī)械包含著大課題
1.3 什么是微機(jī)電系統(tǒng)
1.
3.1 微機(jī)電系統(tǒng)的定義
1.
3.2 微機(jī)電系統(tǒng)的尺寸
1.
3.3 微型機(jī)械與微電子和普通機(jī)械的差異
1.3 本書(shū)內(nèi)容
1.3 有關(guān)的刊物、會(huì)議和網(wǎng)站參考文獻(xiàn)
第2章 微機(jī)電系統(tǒng)的制作（上）
2.1 引言2.
1.1 微細(xì)機(jī)械加工的特點(diǎn)2.
1.2 關(guān)于加工單位的概念2.
1.3 常用的微細(xì)加工方法的分類(lèi)
2.2 微型機(jī)械中使用的IC工藝2.
2.1 IC工藝的概況
2.2.2 IC工藝的主要步驟
2.3 硅微結(jié)構(gòu)制作工藝
2.
3.1 體微機(jī)械加工技術(shù)
2.
3.2 鍵合技術(shù)
2.
3.3 表面微機(jī)械加工技術(shù)
2.
3.4 封裝參考文獻(xiàn)
第3章 微機(jī)電系統(tǒng)的制作（下）
3.1 傳統(tǒng)的超精密加工方法的概述3.
1.1 微細(xì)磨削加工3.
1.2 微細(xì)磨料加工3.
1.3 微細(xì)放電加工3.
1.3 金屬絲放電磨削加工
3.2 特種加工工藝3.
2.1 激光束微細(xì)加工技術(shù)3.
2.2 電子束微細(xì)加工技術(shù)3.
2.3 聚焦離子束（FIB）微細(xì)加工技術(shù)
3.3 LIGA工藝3.
3.1 概述3.
3.2 同步輻射X射線光刻
3.3.3 LIGA工藝流程
3.4 快速成型技術(shù)
3.5 用隧道顯微鏡進(jìn)行微細(xì)加工
3.
5.1 隧道效應(yīng)與STM
3.
5.2 其他類(lèi)型的隧道顯微鏡
3.
5.3 用隧道顯微鏡進(jìn)行微細(xì)表面加工3.6 最近發(fā)展的微納米工藝3.
6.1 多光子吸收聚合技術(shù)（MAP）3.
6.2 質(zhì)子束刻寫(xiě)參考文獻(xiàn)
第4章 常見(jiàn)的微型器件（上）--幾種典型的微傳感器及其工作原理
4.1 概述4.
1.1 定義4.
1.2 傳感器工作原理及應(yīng)遵循的法則和定律
4.2 傳感器分類(lèi)和性能指標(biāo)4.
2.1 傳感器的分類(lèi)4.
2.2 傳感器性能的指標(biāo)
4.3 微型力學(xué)傳感器及其工作原理4.
3.1 微型力（力矩）傳感器4.
3.2 微型壓力傳感器4.
3.3 微型加速度計(jì)4.
3.4 微型陀螺4.
3.5 微型觸覺(jué)傳感器
4.4 微型生物醫(yī)學(xué)傳感器4.
4.1 懸臂梁式生物傳感器4.
4.2 石英晶體微天平傳感器4.
4.3 光學(xué)生物傳感器
4.5 微型圖像傳感器
4.
5.1 CCD圖像傳感器
4.
5.2 具有三維結(jié)構(gòu)的固體圖像傳感器
4.6 化學(xué)傳感器
4.
6.1 氣敏傳感器
4.
6.2 電子鼻
4.
6.3 氣相色譜儀
4.7 微型傳感器的特點(diǎn)參考文獻(xiàn)
第5章 常見(jiàn)的微型器件（中）--幾種典型的微執(zhí)行器及其工作原理
5.1 常用微型執(zhí)行器的致動(dòng)機(jī)理5.
1.1 靜電致動(dòng)的機(jī)理5.
1.2 壓電致動(dòng)的機(jī)理5.
1.3 熱致動(dòng)的機(jī)理5.
1.3 形狀記憶合金致動(dòng)的機(jī)理5.
1.3 電磁致動(dòng)的機(jī)理
5.2 幾種典型的微型執(zhí)行器5.
2.1 微馬達(dá)5.
2.2 微型閥5.
2.3 微型泵5.
2.4 其他微致動(dòng)機(jī)構(gòu)
5.3 微型執(zhí)行器的特點(diǎn)和比較參考文獻(xiàn)
第6章 常見(jiàn)微型器件（下）--幾種典型的微結(jié)構(gòu)和微系統(tǒng)
6.1 微結(jié)構(gòu)
6.1.1 微型鉸鏈、微型軸承
6.1.2 微型彈簧
6.1.3 微型繼電器、微型保險(xiǎn)絲6.
1.3 微探針6.
1.3 微型人工細(xì)胞融合系統(tǒng)
6.1.6 仿壁虎粘附陣列
6.2 微型機(jī)構(gòu)6.
2.1 微型連桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)6.
2.2 微型齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)6.
2.3 微型鏈傳動(dòng)機(jī)構(gòu)6.
2.4 微型平行四邊形機(jī)構(gòu)6.
2.5 微型梳狀機(jī)構(gòu)
6.2.6 柔性機(jī)構(gòu)（微型機(jī)器人的手和腳）
6.3 微系統(tǒng)6.
3.1 微型數(shù)字顯示器6.
3.2 微光纖開(kāi)關(guān)系統(tǒng)6.
3.3 生物芯片實(shí)驗(yàn)室6.
3.4 納衛(wèi)星6.
3.5 微型飛行器
6.3.6 微型化學(xué)反應(yīng)系統(tǒng)……
第7章 微檢測(cè)技術(shù)
第8章 微機(jī)電系統(tǒng)相關(guān)的固體力學(xué)基礎(chǔ)知識(shí)
第9章 微機(jī)電系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和建模
第10章 微尺度流體力學(xué)的相關(guān)基礎(chǔ)知識(shí)
第11章 微尺度傳熱基礎(chǔ)知識(shí)參考文獻(xiàn)