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微電子技術(shù)概論
本書從微電子技術(shù)的發(fā)展歷程與發(fā)展特點(diǎn)入手,系統(tǒng)地介紹了作為信息社會(huì)基石的微電子技術(shù)的基本概念與關(guān)鍵技術(shù)。內(nèi)容涵蓋集成器件物理基礎(chǔ)、集成電路制造工藝、集成電路設(shè)計(jì)方法、IC-CAD技術(shù)和集成電路的測(cè)試與封裝等多個(gè)方面。 本書內(nèi)容系統(tǒng),選材先進(jìn)。既有對(duì)微電子器件與工藝的一般介紹,又有對(duì)微電子設(shè)計(jì)技術(shù)的深入論述。本書可作為非微電子專業(yè)電子與電氣類本科生的教材與參考書,也可以作為各類高級(jí)技術(shù)和管理人士學(xué)習(xí)微電子技術(shù)的人門參考書。
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