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　　《微電子機械微波通訊信號檢測集成系統(tǒng)》共分為12章，從第1章共性的設(shè)計理論和實現(xiàn)方法出發(fā)，對MEMS微波器件進行了一系列設(shè)計、實驗和系統(tǒng)級S參數(shù)模型的研究。這些器件包括：第2章的一分為二微波功分器，第3章的間接加熱熱電式功率傳感器，第4章的直接加熱熱電式功率傳感器，第5章的電容式功率傳感器，第6章的電容式和熱電式級聯(lián)功率傳感器，以及集成MEMS系統(tǒng)，第7章的在線電容耦合式微波功率檢測器，第8章的在線定向耦合式毫米波功率檢測器，第9章微波相位檢測器和第10章微波頻率檢測器，第11章分別對微波功率、相位和頻率檢測器進行了封裝研究；最后，第12章進行了總結(jié)和展望。由于集成的MEMS相位檢測器和集成的MEMS頻率檢測器研究都是基于MEMS微波功率傳感器技術(shù)，因此，《微電子機械微波通訊信號檢測集成系統(tǒng)》用較大篇幅來詮釋MEMS微波功率傳感器及其集成的微波功率檢測器的研究。
　　《微電子機械微波通訊信號檢測集成系統(tǒng)》所涵蓋的學(xué)術(shù)成果在本專業(yè)國際上的重要學(xué)術(shù)期刊，以及國際重要學(xué)術(shù)會議上已發(fā)表，同時，書中所提出的結(jié)構(gòu)新穎，創(chuàng)新性突出，已獲得中華人民共和國國家發(fā)明專利授權(quán)，應(yīng)用價值高。《微電子機械微波通訊信號檢測集成系統(tǒng)》適合高校電子、通訊和儀器專業(yè)的研究生和本科生作為教材和參考書，同時，也可作為相關(guān)專業(yè)的科研人員和工程技術(shù)人員的參考書。

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　　在微波通訊中，功率、相位和頻率是用來表征微波信號的三大參數(shù)。例如，作為電子對抗、目標(biāo)探測和信息采集的關(guān)鍵信息裝備的雷達，，在微波通訊中占有重要的地位，在雷達整機中，微波信號的產(chǎn)生、發(fā)射、傳輸、接收和處理等各個環(huán)節(jié)，都必須進行微波信號的檢測。相控陣雷達的每一面陣中都有非常多的微波功率放大處理電路單元，每個單元都需要進行微波功率的檢測，如何精確地進行檢測一直是重要的課題；而隨著微波頻率的增加，信號的波長與電路中各種元器件尺寸越來越接近，電磁波通過微波器件時，除了會發(fā)生衰減，造成功率的變化外，同時還發(fā)生相移，引起相位的變化，檢測并控制信號相位的變化有著非常重要的意義；同時，微波信號的頻率同樣已成為重要的檢測參數(shù)，頻率的標(biāo)準及其計量方法具有最高的精度，其測量決定著其他相關(guān)參數(shù)的準確度。
　　低直流功耗、高抗燒毀水平、高靈敏度、高線性度、大動態(tài)范圍、易集成、小體積和低成本的微波通訊信號檢測集成系統(tǒng)已成為軍用和民用微波通訊技術(shù)發(fā)展的重要裝備之一，針對軍用和民用微波通訊裝備的以上需求，應(yīng)用RF MEMS（射頻微電子機械系統(tǒng)）技術(shù)，東南大學(xué)MEMS教育部重點實驗室RF MEMS課題組從2003年開始了微電子機械微波信號檢測集成系統(tǒng)的研究。相對應(yīng)微波信號的功率、相位和頻率的檢測，作為RF MEMS課題組負責(zé)人，我已經(jīng)主持完成了三個國家自然科學(xué)基金面上項目：“在線式MEMS微波功率傳感器的設(shè)計理論和實現(xiàn)方法的研究”（批準號：60676043，起止時間：2007年1月～2009年12月），“基于MEMS功率傳感技術(shù)的單片微波相位集成檢測系統(tǒng)的設(shè)計理論和實現(xiàn)方法”（批準號：60976094，起止時間：2010年1月～2012年12月），“基于MEMS微波功率傳感器的無線接收式微波頻率檢測集成系統(tǒng)的設(shè)計理論和實現(xiàn)方法”（批準號：61076108，起止時間：2011年1月～2013年12月）。另外，已經(jīng)主持完成了一項國家863計劃（國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃）項目：“在線式MEMS微波功率傳感器及其集成檢測系統(tǒng)研究（批準號：2007AA042328，起止時間：2007年10月～2010年5月）。通過以上科研，基于GaAs MMIC兼容工藝，課題組研制了MEMS集成的在線式微波功率檢測器和MEMS集成的微波相位檢測器，以及MEMS集成的微波頻率檢測器，其創(chuàng)新性表現(xiàn)為：全是由無源器件集成，實現(xiàn)零直流功耗；采用MEMS電容式和熱電式兩種微波功率傳感器級聯(lián)結(jié)構(gòu)，不僅擴展了測量動態(tài)范圍，而且提高了靈敏度和抗燒毀水平；同時，具有高線性度、易集成、小體積和低成本等MEMS的鮮明特點。
　　課題組深入地進行了模擬、設(shè)計、制備、測試和封裝等工作，最終建立了一整套微電子機械微波通訊信號檢測集成系統(tǒng)的設(shè)計理論和實現(xiàn)方法，包括：①MEMS熱電堆、MEMS固支梁和懸臂梁、功率分配器和功率合成器、耦合器和移相器等的微波集成設(shè)計，以及MEMS微波功率傳感器、相位和頻率檢測器的電-熱-電轉(zhuǎn)換模型和電-力-電轉(zhuǎn)換模型建立的設(shè)計理論研究；②應(yīng)用理論研究成果指導(dǎo)微波通訊信號檢測集成系統(tǒng)的設(shè)計，與GaAs MMIC工藝兼容的MEMS工藝進行的單片系統(tǒng)集成、測試和封裝；③實驗結(jié)果驗證微電子機械微波通訊信號檢測集成系統(tǒng)設(shè)計理論和實現(xiàn)方法的有效性。
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